课题1：无机集成器件的可延展柔性化设计理论与体系构建
　　针对传统光子／电子器件结构，结合可延展柔性的大变形机理，提出新型设计理论，实现脆性无机功能单元与柔性衬底集成并具备可延展柔性，指导功能单元构筑和柔性材料设计制备，形成自洽的设计理论，获得可延展柔性无机集成器件原型设计。
负责人：宋吉舟
承担单位：浙江大学、清华大学

课题2：可延展柔性无机集成器件中功能单元构筑与微纳制备
　　针对柔性衬底集成器件的特点，在高效率低功耗目标下实现功能单元构筑和集成化体系构建；开展相关无机功能单元的微型化设计和制备技术研究，获得薄膜器件的外延生长与器件制备技术；形成保证转移印刷成功率的微支撑结构的制备和刻蚀工艺。
负责人：徐云
承担单位：中国科学院半导体研究所、电子科技大学、西安电子科技大学

课题3：可延展无机集成器件的超柔性衬底材料、界面改性及失效机理
　　分别为柔性薄膜电子器件的转印和制备发展新型功能高分子材料，针对不同用途、不同转印条件、不同结构和不同制备工艺的集成器件提供结构和功能优异的高分子材料，并建立柔性衬底与半导体薄膜材料界面的可靠性评估手段。
负责人：徐航勋
承担单位：中国科学技术大学、浙江大学、清华大学

课题4：可延展柔性无机集成器件的高效转印方法与实现
　　针对可延展柔性无机电子器件的设计和制备特点，结合转移印刷方法和异质界面粘附力调控理论，建立主动可控的转移印刷方法，实现柔性无机器件的高效集成。结合所构筑的功能单元和柔性衬底，获得可延展柔性无机光子／电子集成器件原型，能够贴合人体不同部位并分别实现心电/肌电/呼吸／脉搏和脑电/血氧/体温等测量及信号传输。
负责人：冯雪
承担单位：清华大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

课题5：大形变下异质界面对载流子输运及器件电子学性能的调控机理
　　针对大形变环境下的可延展柔性无机集成器件，在理论上建立功能单元的界面能带结构和载流子输运模型；实验上建立器件宏观形变-单元结构微观应变-宏观电子学性能之间的关联性规律；提出对器件电子学性能进行有效调控的方法；实现器件的电子学性能可控性和稳定性。
负责人：林媛
承担单位：电子科技大学、中国科学院半导体研究所、西安电子科技大学

课题6：服役环境下可延展柔性无机集成器件性能退化机理与信号延迟机制
　　建立可延展柔性集成电路互连导线新型拓扑结构和可靠性评估方法，获得弯曲-互连导线形状-互连导线延迟之间的关系模型，研究服役状态下以及特殊环境下器件的力学、电学可靠性和生物兼容性。
负责人：段宝兴
承担单位：西安电子科技大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国人民解放军空军总医院、中国科学院半导体研究所